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技术文章/ARTICLE
推荐：两探针电阻率测试仪的技术特点#技术新闻
点击次数：836 发布时间：2023/4/23 15:42:50
推荐：两探针电阻率测试仪的技术特点#技术新闻 http://www.app17.com/c101739/products/d11164856.html
参数规格
两探针电阻率测试仪技术快讯#台风
适用于半导体材料企业、科研、高等院校及实验室分析半导体材料纵向电阻率；可测量横截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率，试样长度与截面尺寸之比应不小于3:1；配置测量平台，正反向电流测量模式；液晶显示，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，可选购PC软件实时数据和报表管理；提供中文或英文两种语言操作界面选择.
二.参照标准：
GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法-方法2直流两探针法；
SEMI MF 397-1106<<硅棒电阻率测定两探针法>>
三、参数 资料
1.电阻率：10^-7～2×10^7Ω-cm
2.电 阻：10^-7～2×10^7Ω
3.电导率：5×10^-7～10^7s/cm
4.分辨率： 0.1μΩ测量误差±（0.05%读数±5字）
5.测量电压量程： 2mV 20mV 200mV 2V 测量精度±（0.1%读数）
6.分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV
7.电流输出：直流电流 0～1000mA 连续可调，
量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 误差：±0.2%读数±2字
8.显示方式：液晶显示：电阻值、电阻率、电导率值、温度、单位自动换算、横截面、高度、电流、电压等.
9.温度要求：23℃±1℃
10.电源：220±10% 50HZ/60HZ
11. 测量平台参数如下：
1）.可测硅芯、检验棒尺寸：直径4~22㎜ （其他规格可定制）
2）.探针头探针与试样接触位置重复，无横向移动。
3）.两探针测试探针。探头间距1.59mm（其他规格可定制）；探针机械游率：±0.3%。
4）.探针直径0.8㎜；探针压力总6-12N，探针材料：钨针，
5）.探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于109欧
12.标配外选购项：a.pc软件1套；b.标准电阻1件；c.电脑和打印机
原创作者：宁波瑞柯微智能科技有限公司
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